原子荧光光谱仪组成结构包含激发光源、单色器、原子化器、检测系统、显示装置等，原子荧光光谱法具有设备简单、各元素相互之间的光谱干扰少，检出限低，灵敏度高，工作曲线线性范围宽和多元素可以同时测定等优点，是一种具有潜力的痕量分析方法。
荧光分析用的激光 光源种类
空心灯极（包括高强度灯极可拆卸灯），无极放电灯，金属蒸气放电灯，汞放电灯，微波诱导紫焰，电感耦合等离子焰，可控温梯灯，佩灯，可调谐染料激光，二极管激光灯灯。
检测器
光电倍增管是目前常用的荧光检测器。 由于荧光比较弱，应当选用低噪音及低暗电流产品。对于无色散系统仪器来说为了排除室内光线的影响，采用光谱响应范围为160~320nm的白盲光电倍增管。
分光系统
由于原子光谱仪比较简单，因而对分光系统的色散率要求不高,一般单色器要求。 由于在原子荧光测量中，激发光源与检测器不在同一光路中。因而有可能省略分光系统，在这种情况下，测量到的信号是若干条荧光谱线的总强度，其值得大小仍然与原子浓度成正比。
原子化器
对于原子荧光法来说，对原子化器的只要要求有：
1、高原子化效率
2、低背景发光
3、高荧光量子效应
4、低散射效应
5、物理及化学干扰少
6、适于多种元素同时分析
在原子荧光光谱法中采用的原子化器主要两大类：火焰原子器及电热原子器。
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